مقياس فراغ بيراني من الفولاذ المقاوم للصدأ لكاشف تسرب الهيليوم

إدخال مقياس فراغ بيراني

مقياس فراغ "بيراني" هو جهاز استشعار رئيسي في نظام فراغ كاشف تسرب طيف كتلة الهيليومتستخدم لقياس الضغط في نطاق الفراغ المتوسط إلى المنخفض (وخاصة خلال مرحلة الضخ الخام)عادة ما يتم تصنيع عنصر الاستشعار الأساسي من المعادن مثل التونغستين أو النيكل ، في حين يتم تصنيع الإسكان الكلي من الفولاذ المقاوم للصدأ.

وظيفة مقياس فراغ بيراني

قياس فراغ Pirani يلعب دور "مراقب العملية" و "حامي النظام" في أجهزة الكشف عن تسرب طيف الكتلة الهيليوم ، مع وظائفه المحددة على النحو التالي:
مراقبة ضغط الفراغ في ضخ الخام:
عندما يتم تشغيل كاشف التسرب ، يجب على المضخة الميكانيكية أولاً إخلاء نظام الفراغ من الضغط الجوي إلى ضغط منخفض نسبياً (عادة في حدود 10 Pa إلى 0.1 Pa).يراقب مقياس Pirani تغيرات الضغط خلال هذه المرحلة في الوقت الحقيقي ويعرضها على واجهة الأداة.
توفير إشارة قفل لفتح صمام الفراغ العالي (وظيفة حماية النواة):
غرفة طيف الكتلة الأساسية لجهاز الكشف عن التسرب يمكن أن تعمل فقط في ظل ظروف فراغ عالية (عادة أقل من 0.1 Pa).إذا تم فتح صمام الفراغ العالي (الذي يربط المضخة الميكانيكية بمضخة الانتشار / المضخة التوربوموليكولية) قبل انخفاض ضغط الخط الأمامي بما فيه الكفاية، يمكن أن يضر بشدة مضخة الفراغ العالي وتلوث النظام بأكمله.
مقياس بيراني مرتبط بنظام التحكم في الجهاز.نظام التحكم سوف يسمح فقط صمام الفراغ العالي لفتح ومضخة التوربوموليكول لبدء عندما يكتشف مقياس Pirani أن ضغط الخط الأمامي أقل من عتبة السلامة المحددة مسبقاهذا إجراء أمني حاسم لحماية مضخة الفراغ العالية الثمينة ومطياف الكتلة
المساعدة في حالة النظام وتشخيص موقع التسرب:
من خلال مراقبة معدل انخفاض الضغط أثناء الضخ والضغط المستقر النهائي الذي يمكن تحقيقه،من الممكن تحديد ما إذا كان النظام لديه تسرب كبير (الضغط لا ينخفض باستمرار) أو غاز داخلي كبير (يتراجع الضغط ببطء).
أثناء اختبار التسرب، إذا الرش الهليوم لا يؤدي فقط استجابة إشارة طيف الكتلة ولكن أيضا يسبب زيادة ملحوظة في قراءة مقياس بيراني،عادة ما يشير إلى وجود تسرب كبير نسبيا.