Place of Origin:
Anhui, China
اسم العلامة التجارية:
Wayeal
إصدار الشهادات:
CE
Model Number:
SFJ-231D
الوثيقة:
كاشف تسرب هليوم مضخة جافة للكشف عن تسرب الوافر SFJ-231D
المعلمات التقنية لمستكشف تسرب الهيليوم SFJ-231D
| اسم المنتج | كاشف تسرب الهيليوم SFJ-231D |
| الحد الأدنى لمعدل التسرب القابل للكشف ((Pa·m3/s) / وضع فراغ | 5.0*10-13ب.م3/s |
| الحد الأدنى لمعدل التسرب القابل للكشف ((Pa·m3/s) / وضع الشم | 5.0*10-9ب.م3/s |
| ضغط الكشف عن التسرب القصوى المسموح به (Pa) | 1500 |
| وقت الاستجابة | < 1s |
| وقت البدء | ≤2 دقيقة |
| الجودة القابلة للكشف | 2, 3,4 ((H2,He3,He4) |
| واجهة الإنسان والآلة | شاشة لمسة LCD ملونة 7 " |
| مصدر الأيونات | 2 قطعة، أكسيد اليتروم مغلف بالإيريديوم، التبديل التلقائي |
| واجهة الدخول / الخروج | 8 مدخلات و 8 مخرجات |
| واجهة الاتصال | رس232/485، USB*2 |
| واجهة MES | المعيار |
| منفذ الكشف عن التسرب | DN25KF |
| إمدادات الطاقة | AC220V، 50Hz/60Hz |
| درجة حرارة العمل | 0~40 درجة مئوية |
| اللغة | الإنجليزية |
| عرض معدل التسرب | الرسم، الرسم البياني الشريط، الرسم البياني المنحنى |
| البعد | 645*678*965ملم |
تطبيق كاشف تسرب الهيليوم SFJ-231Dلـ (وفر)
في تكنولوجيا الكشف عن تسرب طيف الكتلة الهيليوم، يعتمد تطبيق المضخات الجافة (ضخات الفراغ الجافة الخالية من الزيت) بشكل رئيسي على ظروف عمل المعدات التي سيتم فحصها،متطلبات النظافة والمتطلبات التقنية لمستشعرات تسرب طيف الكتلة الهيليوم (e(مثل (ويال SFJ-231D)
طريقة الكشف: طريقة هليوم الرش الفراغ (وضع الحساسية العالية)
1: إخلاء النظام ومعايرة الخط الأساسي
إخلاء إلى الضغط الأساسي: غرفة الحفر: ≤0.1Pa (ضخة جافة + مزيج من مضخة جزئية) ؛ غرفة CVD/PVD: ≤10−3 Pa (متطلبات أعلى لمعدات الطلاء).
معايرة كاشف التسرب: استخدم إشارة تسرب قياسية (مثل 1 × 10 - 7 Pa · m 3 / s) لعملية معايرة SFJ-231D والتحقق من خطية استجابة الأداة.
الخطوة الثانية: اكتشاف رذاذ الهيليوم
منطقة الكشف: خروقات حلقات O ، ثقوب المسامير ، أغلفة معدنية VCR / VCO ، مفاصل اللحام ، عازلات السيراميك ، أغلفة النحاس ، (بيلز) لديه علاقات
عملية رش الهليوم:
استخدم مسدس رش هليوم محمول (مع فوهة ضبط دقيقة بقوة 0.1 ملم) على بعد 3-5 ملم من نقطة الكشف. تحرك بسرعة 5 سم / ثانية ، مع وجود 2-3 ثانية لكل نقطة (وقت استجابة SFJ-231D < 1 ثانية).ضبط ضغط الهيليوم إلى 0.2-0.3MPa لتجنب اضطرابات تدفق الهواء.
الخطوة الثالثة: تحديد نقطة التسرب وتسجيلها
معدل التسرب: معدل تسرب مسموح به في معدات أشباه الموصلات: عادة ≤1 × 10-9 Pa·m3/s (حسب معايير SEMI).
تسجيل البيانات: عندما يظهر جهاز SFJ-231D ذروة معدل التسرب، حدد نقطة التسرب بقلم تحديد.
حفظ منحنيات معدل التسرب وبيانات الموقع (التصدير عبر USB).
الخطوة 4: إعادة التفتيش والتحقق
قم برش هليوم ثان على التسريبات المكتشفة للتأكد من إمكانية تكرارها
بعد إصلاح التسريبات الكبرى، أعد إخلاء إلى الضغط الأساسي وإجراء فحص كامل مرة أخرى.
أرسل استفسارك مباشرة إلينا
