جهاز الكشف عن تسرب الهيليوم الفراغية المعتمد من قبل CE لصناعة أشباه الموصلات

كاشف تسرب الهيليوم SFJ-16M

مؤشرات الأداء






 

الحد الأدنى لمعدل التسرب القابل للكشف
(بالم)³/s) / وضع الفراغ

وضع الفراغ (Ultra):5.0 × 10^-13 ب.م³/s(سرعة ضخ الهيليوم > 5 لترات في الثانية)
وضع الفراغ (FINE):1.0 × 10^-12 ب.م³/s(سرعة ضخ الهيليوم 2.5L/s)

الحد الأدنى لمعدل التسرب القابل للكشف
(Pa·m3/s) / وضع الشم

5.0 × 10^-8ب.م³/s

وقت الاستجابة

< 1

وقت البدء ((دقيقة)

≤ 95s

نطاق الكشف عن التسرب
(بالم)³/s)

5.0 × 10^-13~ 1.0 × 10^-3ب.م³/s

نطاق عرض معدل التسرب
(بالم)³/s)

1.0 × 10^-13~ 1.0 × 10^-3 ب.م³/s

ضغط الكشف عن التسرب القصوى المسموح به ((Pa)

1500

الجودة القابلة للكشف

2,3،4 ((H2 ، He3 ، He4)

التكوين الأساسي










 

واجهة الإنسان والآلة

شاشة لمسة LCD ملونة 5 "

مصدر الأيونات

2 قطعة، أكسيد اليتروم مغلف بالإيريديوم، التبديل التلقائي

واجهة الدخول / الخروج

ثمانية مدخلات وثمانية مخرجات

واجهة الاتصال

RS232/485،LAN

واجهة MES

المعيار

الحجم المادي للمعدات
(W) × ((D) × ((H) ، مم

592 * 498 * 370mm

مواصفات منفذ الكشف عن التسرب

DN16 KF/2 قطعة

إمدادات الطاقة

DC24V

درجة حرارة العمل

0-40 درجة مئوية

القوة

240 واط

لغة العرض

الصينية والإنجليزية

عرض معدل التسرب

الرسم، الرسم البياني الشريط، الرسم البياني المنحنى